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石英管式微波等離子體發(fā)生裝置

簡(jiǎn)要描述:

石英管式微波等離子體發(fā)生裝置1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足額功率,連續(xù)可調(diào);2、本底真空不劣于10Pa;工作氣體分3路控制流(入)量;

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石英管式微波等離子體發(fā)生裝置
  (一)性能概況
1、微波2.45GHz;0~500W或0~1000W足額功率,連續(xù)可調(diào);
2、本底真空不劣于10Pa;工作氣體分3路控制流(入)量;
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應(yīng)室,置于微波系統(tǒng)和真空系統(tǒng)的偶合點(diǎn)上;
4、制冷循環(huán)水冷卻。
                                (二)典型實(shí)驗(yàn)
1、化學(xué)氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等;
2、集成電路等的刻蝕;
3、可催化引發(fā)常規(guī)化學(xué)很難實(shí)現(xiàn)的反應(yīng);
4、高分子、金屬、生物材料表面改性。
                                 (三)產(chǎn)品特色
1、微波準(zhǔn)零泄漏,確保人身安全;
2、微波足額功率,等離子體活力強(qiáng)勁;
3、樣品升降架精巧豪,可加熱可冷卻;
4、制冷循環(huán)水避免長(zhǎng)流水費(fèi)水?dāng)_民;
5、循環(huán)水機(jī)可聯(lián)機(jī)可獨(dú)立使用;
6、缺水保護(hù)報(bào)警功能完善可靠;
7、排氣口有環(huán)保型油霧過(guò)濾器;
8、電控系統(tǒng)功能完善靈便醒目;
9、整機(jī)造型典雅大氣。

 

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